Ultrasonisk spraypyrolyseudstyr og TCO -belægningssystem
Uniform tynd film indium tinoxid (ITO), aluminium doteret zinkoxid (AZO), zinkoxid (ZnO) og fluor dopede oxidlag produceres normalt ved ultrasonisk spray -pyrolyseteknologi. Denne unikke proces kræver specialiseret belægningsudstyr for at skabe den nødvendige belægningstykkelse og -form og for at sprøjte ætsende opløsninger i miljøer med høj temperatur.
Under ultralydspyrolyse med høj temperatur sprøjtes forløberopløsningen (såsom aluminiumszinkoxid) på underlaget opvarmet til ca. 300-500 grad. Opløsningsmidlet fordamper under transport, og en ZnO -krystalfilm vokser på substratoverfladen, normalt natriumcalcium eller andet glas. Underlagstemperaturen bestemmer normalt filmens morfologiske egenskaber.
Ultrasonisk spray-vådaflejring giver producenterne et omkostningseffektivt alternativ til vakuumaflejring og sputtering med højere overførselseffektivitet. Den dråbestørrelse, der genereres af den ultralyds atomiserende dyse, er meget ensartet, hvilket kan opnå den optimale størrelse af dråber til pyrolysereaktion, og alle dråber reagerer samtidig på samme måde under deponeringsprocessen. Uanset om det er forskning og udvikling eller masseproduktion, vil dette bringe effektive TCO -produktionsprocesser.
Brugen af funsonisk ultralydsdyse overvinder procesudfordringen med at sprøjte meget ætsende syrer. Dysen er lavet af korrosionsbestandige strukturelle materialer og har egenskaberne ved ingen blokering, gentagelighed og lang levetid. Det kan endda sprøjte meget ætsende saltsyre eller hydrofluorinsyreopløsninger.
Fordele ved ultralydsspray -pyrolysesystem til TCO -belægning:
1. sammenlignet med CVD (kemisk dampaflejring) -proces, er ultralydspray-pyrolyse enkel, fleksibel og omkostningseffektiv.
2. bevist TCO -belægningsekspertise.
Sammenlignet med andre sprøjtemetoder kan ultralydsdyser deponere mere ensartede lag.
4. Let at justere og gentagne belægningsparametre.
5. Fuldt integreret patenteret ultralydsdyseteknologi og flydende levering, hvilket giver en komplet coating -løsning.
Alternative lavtemperaturspray-pyrolyse (250 grader og nedenfor) processer dukker konstant op, og der er blevet udført mere forskning og udvikling på kemikalier, der ikke har brug for målunderlag med høj temperatur.
