Ultralydsspraybelægningsmaskine til halvleder- og fotoresistapplikationer

Ved halvlederfremstilling kræver anvendelsen af ​​fotoresist, polyimider og andre funktionelle tynde film absolut præcision. Selv mikroskopiske afvigelser i filmtykkelse kan føre til katastrofal komponentfejl. Ved hjælp af en avanceretUltrasonisk spraybelægningsmaskine gør det muligt for halvlederproducenter at opnå meget ensartede tynde-filmbelægninger på komplekse topografier, herunder dybe grøfter og mikrostrukturer med højt-aspekt-forhold, som traditionel spincoating ikke effektivt kan dække.

Overvinde begrænsningerne ved Spin Coating

Mens spincoating er en standardproces i industrien, kæmper den i sagens natur med ikke-plane underlag, firkantede underlag eller wafers med dybe hulrum, hvilket ofte fører til ujævne kantperler eller tomme lommer. En ultrasonisk dysesprayformningsmaskine løser dette ved at levere en meget kontrolleret, forstøvet tåge direkte over målområderne. Den blide spray med lav-hastighed tillader væsken at bundfælde sig jævnt inde i mikro-riller uden at efterlade luftlommer eller forårsage, at materiale samler sig.

Udviklet til renrumsmiljøer med høj-pålidelighed

Halvlederproduktion kræver udstyr, der fungerer pålideligt under strenge renrumsforhold.FUNSONISKdesigner og producerer kommercielt-ultralydsudstyr, der integreres problemfrit i automatiserede waferbehandlingslinjer. Vores systemer er bygget af materialer med høj-renhed for at forhindre kemisk kontaminering og sikre ensartet væskedynamik under lange produktionscyklusser.

FUNSONISKleverer standardmodeller samt skræddersyede, tilpassede konfigurationer, der passer til dit renrumsrum, krav til væskeviskositet og målgennemstrømning. Lad os hjælpe dig med at maksimere dit waferudbytte og reducere det dyre kemikalieforbrug.

Få et hurtigt teknisk tilbud fra vores B2B servicedesk:

E-mail:tina@fun-sonic.com

Hotline: +86-571-63325803

Mobil: +8618966176048