Introduktion af spredning af ultralyddysen

 

Spredningsdyser bruger lavtryksluft/gas til at producere ensartede, bred spraymønstre, med hver dyse, der er i stand til op til 9,8 inches (25 centimeter), afhængigt af afstanden fra underlaget. Luftstrømens hastighed kan kontrolleres for at muliggøre lav eller høj påvirkning af den forstøvede spray på produktet eller substratet. Flere dyser forbundet i serien kan opnå uendelig bredde. Spredningsdysedesign bruges til meget gentagne brede mønstre i slanke dyser.

Den ultralydsdyse af spredningstype er en ultralydsadomiseringsdyse med en cyklonkegle -spray. Den bruger den ultralyds atomiseringsdyseteknologi, og gennem den specielle Vortex -flowkanaldesign omdannes bærergassen til en ensartet roterende luftstrøm, så den ultralyds atomisering af væsketågen er spredt i form af en cyklonspray, hvilket udvider sprayen Område for forstøveren. Ultralyddyser kan også sprøjtes på lodrette eller buede overflader og andre vinkelunderlag.

Den typiske anvendelse af spredning af ultralydsdyser er fotoresistbelægning på halvlederchips, hvor fotoresist sprøjtes på halvlederchips. På grund af den rotationsspredning af den tåge, der udsendes af den ultralydsdyse i spredningstypen, kan der ikke kun dannes en ensartet fotoresistfilm ikke kun på skiveplanet, men også på sidevæggene og hjørnerne af wafermikrostrukturen. Derudover kan den ultralydsdyse af spredningstype også bruges til tynde filmsolcellebelægninger, calciumtitanatsolcellebelægninger, AR -transmission og reflektionsfilmbelægninger, termiske isoleringsfilmbelægninger, superhydrofobe belægningsbelægninger, PCB -fluxbelægninger og andre applikationer.

 

 

Princip:

 

Ultralyddyser omdanner højfrekvente lydbølger til mekanisk energi gennem piezoelektriske transducere og konverterer derefter den mekaniske energi til væske. Denne langsgående opadgående og nedadgående vibration genererer stående bølger i den flydende film på spidsen af ​​den ultralydsdyse, hvor amplituden af ​​disse bølger kan kontrolleres af en kraftgenerator. Disse stationære flydende bølger kan strække sig opad fra toppen af ​​den ultralydsdyse, og når dråberne forlader dysens forstøvende overflade, nedbrydes de til en ensartet fin tåge af dråber i mikrometer.

I modsætning til trykdyser bruger ultralydsdyser ikke højt tryk til at tvinge væske gennem et lille hul til at producere spray. Væsken kommer ind gennem et relativt stort dysecenter uden pres og forstærkes af ultralydsvibrationer inde i dysen.

Hver ultralydsdyse fungerer ved en specifik resonansfrekvens, der bestemmer medianstørrelsen af ​​dråbe. Forskellen i dråbestørrelse er meget lille, og dens distribution kan forudsiges nøjagtigt inden for et bestemt interval gennem matematiske beregninger. For eksempel producerer en 120 kHz dyse en median dråbestørrelse på 18 mikron, når der sprøjtes vand. Jo højere frekvens, jo mindre er faldet i medianværdien.

 

 

Fordel:

 

1. stor overfladesprøjtning, sprøjtningsbredde: 40-150 mm

2. Coating uniformity:>95% ensartethed

3. RAG

4. høj præcisionskontrol af belægningstykkelse: 20nm til titusinder af mikrometer af belægning kan fremstilles med præcis kontrol af belægningstykkelse

5. Fine atomiserede partikler

6. ensartede atomiserede partikler

7. kan sprayes med mellemrum eller kontinuerligt

8. Ultra Low Spray Flow

9. vil ikke blokere dysen

10. Antikorrosionsdyse

11. Høj præcisionskontrollerbar sprøjtning