Ultralydteknologi til fotoresist -sprøjtning

Ultralydssprøjtning er en enkel, økonomisk og reproducerbar proces til fotoresist- og polyimidbelægninger. Det ultrasoniske belægningssystem kan bruge enkle lagdelingsteknikker til at finjustere strømningshastighed, belægningshastighed og deponeringsbeløb.

Ultralydssprøjtningsteknologi bruges til halvlederfotoresistbelægninger. Sammenlignet med traditionelle spindingbelægnings- og imprægneringsbelægningsprocesser har det fordelene ved høj ensartethed, god mikrostrukturindkapsling og kontrollerbart belægningsområde. I det sidste årti er anvendelsen af ​​tredimensionel mikrostrukturfotoresistbelægning fuldt ud demonstreret. Processen med at fremstille fotoresistbelægninger ved ultralyds atomiseringssprøjtning er signifikant overlegen end traditionelle spindingbelægninger med hensyn til mikrostrukturemballage og ensartethed.

Det ultralydssprøjtningssystem kan nøjagtigt kontrollere strømningshastigheden, belægningshastigheden og afviklingsvolumen. Sprøjtestøbning med lav hastighed definerer spray som et nøjagtigt og kontrollerbart mønster for at undgå overdreven spray, når man producerer meget tynde og ensartede lag. Dette ultralydssprøjtningssystem kan kontrollere tykkelsen fra undermikron til over 100 mikron og kan dække enhver form eller størrelse.

Karakteristika for ultralyds coating -teknologi til fotoresist:

◆ Ensartet filmdækning af forskellige overfladekonturer

◆ Ikke -kontaktsprøjtning

◆ Micro Airflow Spraying, flere flydende fodringsskemaer

◆ Højhastighedskontrolnøjagtighed

◆ Høj væskeudnyttelsesgrad

◆ Høj fleksibilitet i kemisk og coating ydeevne

◆ Høj transmissionseffektivitet og minimalt affald

◆ Gentagelig moden sprøjtningsproces