Polyimid og fotoresist ultralydssprøjtningssystem

Ultralydssprøjtningssystemer har vist sig at være egnede til forskellige anvendelser, der kræver ensartede og gentagne fotoresist- eller polyimidfilmbelægninger. Ved at kontrollere tykkelsen fra submicron til over 100 mikron og være i stand til at belægge enhver form eller størrelse er coating -systemer et levedygtigt alternativ til andre belægningsteknikker, såsom roterende og traditionel sprøjtning.

Almindelige anvendelser af polyimid- og fotoresistbelægninger inkluderer, men er ikke begrænset til MEM'er, linser, mikrofluidiske enheder, mikroelektronik og filtre. Belægningssystemer er i stand til at overtrække flade og 3D -underlag, typisk inklusive siliciumchips, glas, keramik og metaller.

Ultralydssprøjtning er en enkel, økonomisk og reproducerbar proces til fotoresist og polyimidbelægning. Det ultrasoniske belægningssystem kan nøjagtigt kontrollere strømningshastigheden, belægningshastigheden og deponeringsbeløbet ved hjælp af enkle lagdelingsteknikker. Sprøjtestøbning med lav hastighed definerer atomiseret spray som et nøjagtigt og kontrollerbart mønster for at undgå oversprøjtning og producere meget tynde og ensartede lag.

Fordele ved ultralyds polyimid og fotoresistbelægninger:

1. ensartet filmdækning af forskellige overfladekonturer.
2. høj fleksibilitet i kemiske og belægningsegenskaber.
3.. Ikke tilstoppende atomiserende spray.
4. høj transmissionseffektivitet med minimalt affald.
5. Meget reproducerbar moden sprøjtningsproces.

Det ultralydssprøjtningssystem bruger højfrekvent lydvibration til at generere en blød tåge sammensat af matematisk definerede dråber. Blokeringen elimineres, fordi der ikke bruges noget tryk til at generere spray, og dråberne har meget smal dråbefordelingsstørrelse, hvilket yderligere bidrager til ensartetheden af ​​deponeringslaget.